真空的获得方法及真空泵的组成

 

真空的获得方法及真空泵的组成

(1)利用机械运动的方法获得真空的泵-机械真空泵，如往复真空泵、滑阀式真空泵、旋转式真空泵、罗茨泵等.

(2)蒸汽流真空泵，如油增压泵、金属油扩散泵、水蒸汽喷射泵等，(3)吸附性泵，如属于化学吸附性的有钦升华泵、蒸汽吸气剂离子泵、溅射离子泵等，属于物理吸附性的有冷吸附泵、深冷吸附泵、筛吸附泵等。

真空泵的组成

(1)被抽真空容器 如真空炉炉体，镀膜机的真空室等；

(2)抽气设备 机械泵，油扩散泵，增压泵等；

(3)测量仪器 压缩式真空计，电离-热偶复合真空计；

(4)真空阀门 真空闸板阀(蝶阀)、气动(电动)真空阀；

(5)真空导管 低真空导管和高真空导管；

(6)其他 管道、过滤器、水冷挡板。

在抽气过程中，真空系统内部压强各处是不同的.

压强是逐渐由大气压变到真空的，而系统内部压强分布的形式总是不变的，即在真空泵工作的过程中系统内的压强在各不同断面上总是不等的，这样才可以进行抽气。
 

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