真空泵的抽气原理

真空泵的抽气原理

自从真空技术发展到这样宽的压强范围以来，人们还没有研制出一种能把一个容器从大气抽至高真空或超高真空范围的泵。

虽然所有的真空泵都是用来减少气相分子数，但是用来获得低压强的各类泵却涉及了几种不同的原理。真空抽气则是以下述一个或几个原理为根据的。

气体的压缩和膨胀，运用于活塞泵、液柱泵或水环真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵中。

由粘滞效应产生的曳力，运用子蒸汽喷射泵中。

由扩散效应产生的曳力，运用于蒸汽扩散泵中。

分子曳力，运用于分子泵中。

电离效应，运用于离子泵中。

物理或化学吸着，运用于吸附泵、低温泵及吸气过程。

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