真空泵常用检漏方法

 

真空泵常用检漏方法

(1)分散检漏法
此法是利用真空泵装在系统上的真空计作为检漏工具，用于整体真空设备的动态和静态检漏.将真空设备分成几个部分，用真空阀门隔开，通过观察仪表的压强变化来确定漏量。也有的用探索法，即有特大的漏孔可以听到嘶嘶声，用涂液法在可疑之处涂上酒梢或丙酮之类易挥发液体.液体通过漏孔便挥发成气体，使真空计指示值突然升高。

(2)卤素检漏法

此法用卤素如氛里昂、四抓化碳、抓仿、磺仿等作示踪气体.用一个对卤素气体响应的探头作检漏器。可以抒设备抽成真空后充入卤素气体.在外部用探头进行探索，可检出10-2~10-3，Pa·L/S的漏孔.

(3)氮质谱检漏法

此法用氮气作示踪气体.用对氦气特别敏感的质谱仪作检漏器.这种仪器的检漏方法很多，功能齐全，能准确地检出漏气部位.可检到10-4~10-7Pa·L/S漏孔。但此法设备昂贵、复杂。

 

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