无油超高真空阀

无油超高真空阀

常用的是金属结构;低蒸气压的液态金属阀门(多为玻璃制做)也仍然受到重视。对小口径阀门(小于25毫米)，漏导已可小到10-14升/秒。

目前文献登载的各式超高真空阀门已超过五十种。但按其原理归纳起来，大约可认作五种类型：

1.将软金属垫片压在硬金属的刀边上；

2.将软金属锥压入硬金属孔内；

3一层软金属膜片或一个环状帽压在两个硬表面之间；

4.将硬金属端压入软金属孔内或者把软金属压于硬金属面任意变形压紧；

5.两个硬面互相压紧。

所说的硬金属多为不锈钢，也有用钨铬钴合金、碳化钨和蓝宝石等做的。软金属多是无氧铜、纯银、纯金，也有用钥、锡、白金和铝等。

这五种密封中只一种是用手动密封(漏导10-14升/秒)，其他则要很大的压力才能保证密封。第五种密封所需压力最大，但它的抗腐蚀性能也最好。第二种加压力1吨/厘米2时，阀门密封漏导为10-11升/秒。第三种则在加压达11吨/厘米2时，密封漏导才是10-14升/秒。

因金属无油超高真空阀门种类很多，具体结构就不细举了。它们共同的缺点是使用次数多了密封处会损坏，使漏导增加，加工和装配也需十分精细，造价很高。所以玻璃制的液态金属超高真空阀门至今仍为人们所重视，因为它除了能克服金属阀那几个缺点外，主要还是自己能制做，结构简单。而且用这种阀门的原理也能制造大型金属超高真空阀门，例如，利用450 ℃下的蒸气压为10-13托的纯锡就可做成这种阀门。锡的熔点是232℃，只要加温，用旋转螺旋的方法升降阀帽，其通导能力有600升/秒(这点可因设计而异，可大可小)。
 

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