真空系统的种类及工作状态

真空系统的种类及工作状态

真空系统广泛用于各种不同的工艺过程，其种类十分繁多。按真空系统抽气过程的状态来分，有两大基本类型，即开式真空系统和闭式循环系统。

开式真空系统中有气体流动、各处压力不等，系统中各截面之间有压力差，最后一级真空泵将被抽气体排到大气中去。闭式真空系统的抽气设备与被抽容器是封闭在一起的，刚开始抽气时系统内也有压力差，有气体流动，但达到动态平衡时.系统内各处的压力几乎相等，其主要特点是没有气体从系统中排出到系统外的大气中去。

按真空系统的工作压强分，有粗真空系统、低真空系统、高真空系统、超高真空系统、极高真空系统。

按真空系统的清洁程度分:有油真空系统、无油真空系统。

按被抽系统的结构材料分:玻璃真空系统、金属真空系统。

由于人们的习惯.在实际应用中也经常把上述不同的分类加以综合，诸如“大型动态金属高真空系统”、“无油超高真空系统”、“玻璃高真空系统”等.

可见，上述分类方法不是严格不变的，往往结合真空系统的特点给以恰如其分的称呼，可能更适用些。

把真空系统加以分类的目的，在于找出同类真空系统的特殊性，用以指导各种真空系统的设计、制造、装配和使用。
 

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