电子工业生产中真空泵的选择

 

电子工业生产中真空泵的选择

真空的获得，是借肋真空泵来实现的。不同种类的泵，它有若一定工作条件和范围，在选择真空泵时，应充分考虑到它的特性和规格，并从所设计系统的以下四个条件出发。

(1)被抽真空容器的体积(包括管路)及生产率要求。

(2)所要求的真空度。

(3)抽出气体的种类。

(4)工作期间工件和系统的放气橄和漏气。

目前在我国电子工业生产中，常用的真空泵的基本类型主要是机械泵和油扩散泵(有时加冷凝阱)。现仅就这两种类型真空泵(金属的)的选择问题简介如下。

机械泵工作的基本原理是利用转子，将机械泵的工作空间周期性的压缩和膨胀，从而排出容器中的气体(经导管流入机械泵中的)。

机械泵按结构特征可分为旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、多片式直空泵和双转子真空泵(罗茨泵)等。

目前在我国电子工业生产中，应用较多的是旋片式真空泵。
机械泵工作性能的好坏，受很多因素的影响，如结构形状、加工精度、机械泵油的性能、工作环境、被抽气体种类和机件磨损情况等。日前虽然有人在理论上从泵的有害空间、气密性、极限压强、抽气速率和寿命等方面分析后，认为滑阀式最好，定片式次之、转片式较差，但是尚未提供有力的证据。

机城真空泵目前一般已能达到5*10-3~5*10-4 毫米水银柱左右，再高的真空度要求，单单靠一个机械泵是满足不了的，还必须采用扩散泵(当真空度要求达10-6~10-7毫米水银往以上时，还需加用其他真空获得的部件)来继续完成机械泵所不能达到的真空度。

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