泊头天一泵业介绍爪式真空泵

 

泊头天一泵业介绍爪式真空泵

近年来真空技术的应用领域日趋广泛，已扩展到整个工业。而在以半导体、电子工业为代表的制造工艺中，迫切要求无油污染的清洁真空。因被抽气体往往含有腐蚀性蒸汽及磨损粒子，油封泵对此是无能为力的。因而近年来某些国家相继研制出工作在大气压到0.1pa区域内的干式真空泵，以满足干式工艺的要求。

干式真空泵有非接触型的罗茨式、爪式、螺杆式、接触型的叶片式、凸轮式、活塞式等。非接触型可以高速旋转，但最大压缩比小。接触型的转速不能太高，但最大压缩比大。尤其在大气压附近，因逆流量变大使后者的压缩比为前者5-8倍。另外，干式真空泵的转速越高，其压缩比越大，所以干式真空泵的转速多为3000r/min .从使用寿命、所能达到的压缩比、转速及动平衡性等方面考虑，采用多级爪式转子串联或罗茨转子与多级爪型转子串联组合成干式真空泵。这种泵采用了形状复杂的爪型转子，它也类似罗茨泵型式，两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积，吸气口和排气口分别固定在两侧端盖的侧面上，有转子在旋转过程中自动开闭。目前有两种结构型式，一种是三级爪型转子加一级罗茨型转子构成的多级泵，另一种是四级爪型转子串联构成的多级泵。由于爪式泵沿轴向逆流少，故压缩比在高压区较高。这种泵的吸、排气口设置在泵腔的端壁上，多级连接很方便，气道流畅，泵内腔压力变换平缓，有利于防止可凝性气体的凝结。为了防止可凝性气体在泵内凝结，也要向泵腔内通净化气体。现在的爪式泵极限压力为1-10pa，抽速为100-180m3/h，有系列产品出售。爪式泵也有单级、多级泵出售。

 

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